Resistentwicklung und Strukturcharakterisierung

Das Fraunhofer IPT hat es sich zum Ziel gesetzt, individualisierte Lithographieverfahren wie die Zwei-Photonen-Polymerisation oder die SLM-basierte Interferenzlithographie als Masteringtechnologien für etablierte Abformverfahren zu erschließen. Dies setzt seitens der Strukturen eine hohe Stabilität bzw. Resistenz gegenüber mechanischen und temperaturbedingten Belastungen voraus. Aus diesem Grund arbeitet das Fraunhofer IPT in verschiedenen Verbundprojekten mit dem Unternehmen »micro resist technology GmbH (MRT)«, welches jahrzehntelange Erfahrung u.a. in der Herstellung photosensitiver Polymere vorweist. In iterativen Versuchen stellt MRT dem Fraunhofer IPT Varianten etablierter Produkte zu Verfügung, die dann mit den Lithographieverfahren vor Ort hinsichtlich Strukturierbarkeit, Auflösung und Entformbarkeit getestet und anschließend durch MRT zur Marktreife geführt werden.

Mit der sehr individualisierten Strukturierung durch die Zwei-Photonen-Polymerisation und die SLM-basierte Interferenzlithographie steigen auch die Anforderungen an die Messtechnik. Hierzu stehen dem Fraunhofer IPT eine Reihe unterschiedlicher Verfahren zur Verfügung. Konkret sind dies die Weißlichtinterferometrie, die Konfokalmikroskopie, die Rasterkraftmikroskopie, die Rasterelektronenmikroskopie sowie die Lichtmikroskopie. In Abhängigkeit von der Kundenanforderung (z.B. quantitative Messung oder qualitativer Überblick) und der Strukturgeometrie, sind bestimmte Verfahren auszuwählen oder zu kombinieren. Für die Auswertung steht die vielseitige Software µsoft analysis premium der NanoFocus AG zur Verfügung.

Unser Leistungsangebot

• Machbarkeitsstudien zur Strukturierbarkeit verschiedener Photopolymere und ggf. deren Derivate
• Machbarkeitsstudien zur Entformbarkeit verschiedener Geometrien aus bestimmten Photopolymeren
• Parametertests zur Optimierung der Strukturgüte
• Messung Ihrer individuellen Mikro- und/oder Nanostrukturen, auf Wunsch inkl. vorheriger GageR&R-Analyse
• Beratung bei der Auswahl geeigneter Messverfahren für Ihre individuelle Struktur